硅片抛光剂,硅片清洗剂,硅片
本系列产品适应半导体材料如硅片,锗单晶片,砷化镓晶片的表面抛光工艺,具有去除速率高、使用方便、抛光效果好等特点。
抛光后晶片表面的粗糙度可以达到0.2nm以下,同时可以提高晶片的粗糙度和平行度等,而且无划伤,无抛光雾。
本公司在为用户提供高质量产品的同时,又降低了加工成本,本系列产品是替代进口产品的最佳选择
1. 特点去除速率高:硅片的单位去除速率可以达到0.8-1.5um/min,降低抛光工艺所需要的时间,提高生产效率
使用方便:本抛光液适用于通用的抛光工艺,
抛光效果好:抛光表面粗糙度好无划伤,不会出现抛光雾。
2. 使用范围及参数本系列产品适用于直拉、区熔单晶硅,直径φ76-150mm的原始硅片、掺杂硅片的单面双面的抛光;以及其它半导体材料如锗片,砷化镓片等抛光工艺(需要添加抛光助剂);同时还适用于光学晶体材料如铌酸锂的抛光工艺。
项目型号SiO2含量pH平均粒径/nm稀释倍数主要用途P210021-25%11.0-12.050-8010-15硅片减薄、一次抛光P301528-32%11.5-12.540-7015硅片抛光
蓝宝石抛光剂,半导体抛光剂,半导体清洗剂,精密电子清洗剂,半导体粘接蜡
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